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真空机组
用于各种设备的抽真空，根据要求，机组的真空度涵盖粗真空、中真空和高真空，最高可以达到1×10-4pa，机组配置的控制系统，可以自动控制运行，并能够将系统要求维持在设定的真空度区域运行。
特点
真空机组可以根据客户的使用工况配置不同类型的真空泵及过滤器，成套机组可以移动固定或升降。配置进口或国产泵及阀门，进口泵的品牌有莱宝（Leybold），瓦里安（Varian），爱德华（Edwards），普旭（Busch）等，对于高洁净要求的可以配置干泵，分子泵等无油机组。